Технология LDI помогает избежать всех этих проблем, так как не использует фотошаблонов, и размеры рисунка, сделанного с помощью лазера, не зависят от внешних условий. Кроме того, большая гибкость, присущая LDI, позволяет при необходимости изменять размеры, ориентацию и формы элементов рисунка. Чтобы определить, какие изменения необходимы, система отображения LDI измеряет точные положения реперных знаков на заготовке и затем использует полученные измерения для того, чтобы с высокой точностью вычислить, каким образом рисунок должен быть изменен, для того чтобы оптимизировать совмещение для этого конкретно образца или для всей партии.
Как правило, процесс корректировки включает изменения по осям X и Y и вращение. Также имеется возможность наклонить или деформировать рисунок, хотя на практике такие преобразования используются довольно редко. В конечном счете, в производственных условиях совмещение двух сторон с точностью до 24 мкм может быть достигнуто даже на заготовке размерами 6100812 мм. Способность обеспечивать хорошую точность совмещения особенно важна для производства ПП с высокими классами точности. Как правило, когда разработчик ПП имеет дело с жесткими нормами проектирования, он использует меньший размер заготовки, что позволяет свести к минимуму линейные погрешности, о которых писалось выше. С одной стороны, этот метод способствует увеличению выхода годных, но с другой - отрицательно сказывается на производительности, так как резко уменьшает количество ПП, мультиплицированных на заготовке. Опять же, как следствие этого - повышение производственных издержек. LDI, напротив, устраняет необходимость в использовании заготовок малых размеров.
Один из недостатков LDI состоит в невозможности достичь такой же высокой разрешающей способности, что и при контактной печати. Современные LDI-системы могут воспроизвести минимальный размер, равный 25 мкм, в отличие от 15 мкм у контактной печати. Этот недостаток делает невозможным использование LDI для производства тонких линий, например, применительно для Flip-Chip-компонентов2.
Однако это препятствие не является непреодолимым, и разработка систем, где эта проблема устранена, уже с успехом ведется. Для большинства изготовителей ПП есть все-таки один действительно существенный недостаток LDI - это производительность процесса, которая составляет порядка 80-90 заготовок в час (как для внутренних, так и для внешних слоев). В то же время технология контактной печати позволяет достичь порядка 200-300 заготовок в час для внутренних слоев, и 90-120 заготовок в час для внешних слоев. LDI-системы если и смогут достичь такого результата, то только при использовании сверхчувствительных сухих пленочных фоторезистов (СПФ) (10 мДж/см2), которые, естественно, намного дороже, чем обычные СПФ.
Лазеры в оборудовании LDI
Производительность LDI-системы может быть улучшена путем увеличения мощности лазера, предполагая, что все остальные параметры не изменяются. В прошлом увеличение мощности было практически недоступно, так как для этого требовались большие денежные затраты, но на данный момент ситуация коренным образом изменилась.
Ранее в основе LDI-систем были аргоновые лазеры. В некоторых случаях высококачественные LDI-установки использовали 4-ваттный аргоновый лазер, действующий в диапазоне длин волн 351-364 нм. Такой лазер использует ионы аргона в газовом состоянии, как излучающую когерентный свет среду. Газ находится в керамической плазменной трубе. Этот тип лазера не только обеспечивает необходимую длину волны излучения, но и обладает необходимым для успешной работы LDI качеством излучения. Перейти на страницу: 1 2 3 4 5
Советуем почитать:
Изучение показывающего и регистрирующего прибора ДИСК–250 Слесарь по КИПиА - это универсальный специалист, выполняющий работы по обслуживанию, ремонту и эксплуатации различного контрольно-измерительного оборудования и систем автоматического уп ...
Волоконно-оптические кабели ...
Отопление здания Теплотехника – область науки, техники, занимающаяся вопросами получения и использования тепла. Одновременно с теплотехникой развивались системы отопления и вентиляции, предназначенные ...